




ST系列鍍膜機(jī)
ST系列鍍膜機(jī)系我司標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品,滿足大部分實(shí)驗(yàn)室科研需求,豐富的可選配置也可響應(yīng)您的特殊需要。特點(diǎn):1、集成一體化結(jié)構(gòu)。
2、極限真空度高,可達(dá)7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質(zhì)量。
3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時(shí)間短,30分鐘左右(充干燥氮?dú)猓?系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:≤8Pa。
4、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。
5、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選。
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真空鍍膜機(jī)鍍制薄膜不均勻的解決方法
制的薄膜的均勻性都會(huì)受到某種因素影響。真空狀態(tài)需要抽氣系統(tǒng)來控制的,每個(gè)抽氣口都要同時(shí)開動(dòng)并力度一致,這樣就可以控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強(qiáng)就不能均勻了,壓強(qiáng)對(duì)離子的運(yùn)動(dòng)是存在一定的影響的。油擴(kuò)散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成,里面主要添加擴(kuò)散泵油(日本的型號(hào)是D-704#),根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級(jí)泵和多級(jí)泵。另外抽氣的時(shí)間也要控制,太短會(huì)造成真空度不夠,但太長又浪費(fèi)資源,不過有真空計(jì)的存在,要控制好還是不成問題的。
常見的真空鍍膜材料
氧化物一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,五氧化二鈮Nb2O5,五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3,氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。
其它化合物硫化鋅ZnS,硒化鋅ZnSe,氮化鈦TiN,碳化硅SiC,鈦酸鑭LaTiO3,鈦酸鋇BaTiO3,鈦酸鍶SrTiO3,鈦酸鐠PrTiO3,硫1化鎘CdS等真空鍍膜材料。
金屬鍍膜材料高純鋁Al,高純銅Cu,高純鈦Ti,高純硅Si,高純金Au,高純銀Ag,高純銦In,高純鎂Mg,高純鋅Zn,高純鉑Pt,高純鍺Ge,高純鎳Ni,高純金Au,金鍺合金AuGe,金鎳合金AuNi,鎳鉻合金NiCr,鈦鋁合金TiAl,鋅鋁合金ZnAl,鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。對(duì)于真空鍍膜機(jī)必須要掌握的名詞低溫冷凝泵:它是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種泵,是目前獲得極限真空1高,抽速1大的抽氣泵?!?
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